電子行業用5T/H超純水設備
超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理等方法,將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
一、5T/H超純水設備產水指標
電阻率@25℃:大於等於10MΩ·cm
PH值:6.6-7.4
細菌總數:<9個/ml
微粒(>0.22µm ):≤500個/L
總有機碳:≤100ppb
二、5T/H超純水設備工藝
原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟水器→一級RO主機→一級純水箱→二級RO主機→二級純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI係統→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器
三、5T/H超純水設備優勢
設備主要采用EDI和反滲透技術,產水可以達到15兆歐以上,出水水質完全符合半電子廠的用水標準。設備具有結構合理簡單、連續運行、操作方便、、自動化程度高、使用壽命長、自動化運行、占地麵積小、出水水質高等優勢。
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